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キャッシュファイルとは、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。キャッシュファイルに格納される対象としては、Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、キャッシュファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、必要なときに再利用されることで、PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。ECCをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。キャッシュファイルに格納されたデータは、なお、目的に応じてさまざまなものがある。